±¹³» ¿¬±¸ÁøÀÌ TV, ÈÞ´ëÆù, ÄÄÇ»ÅÍÀÇ ÇʼöºÎÇ°ÀÎ ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚ¿¡ Àû¿ëµÉ ¼ö ÀÖ´Â 15nm ÀÌÇÏ ¼±ÆøÀÇ ±×·¡ÇÉ ³ª³ë¸µÀ» ³ÐÀº ¸éÀû(´ë¸éÀû)¿¡ Á¦ÀÛÇÔ¿¡ µû¶ó, Â÷¼¼´ë ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚ °³¹ß¿¡ »õ·Î¿î °¡´É¼ºÀ» ¿¾ú´Ù.
±¤ÁÖ°úÇбâ¼ú¿ø Á¤°Ç¿µ ±³¼ö(45¼¼)¿Í ¹ÚÀ¯½Å ¹Ú»ç°úÁ¤»ý(30¼¼, Á¦1ÀúÀÚ)ÀÌ ÁÖµµÇÏ°í ¼¼Á¾´ë ¼¼ø¾Ö ±³¼ö°¡ Âü¿©ÇÑ À̹ø ¿¬±¸´Â ±³À°°úÇбâ¼úºÎ(Àå°ü ÀÌÁÖÈ£)¿Í Çѱ¹¿¬±¸Àç´Ü(ÀÌ»çÀå À̽ÂÁ¾)ÀÌ ÃßÁøÇÏ´Â ¼±µµ¿¬±¸¼¾ÅÍÁö¿ø»ç¾÷(NCRC)°ú WCUÀ°¼º»ç¾÷ÀÇ Áö¿øÀ¸·Î ¼öÇàµÇ¾ú°í, Àç·á°úÇÐ ºÐ¾ßÀÇ ±ÇÀ§ ÀÖ´Â ÇмúÁöÀÎ ‘¾îµå¹ê½ºµå ¸ÅÅ͸®¾ó½º’Áö¿¡ ¿Â¶óÀÎ 10¿ù 29ÀÏÀÚ·Î °ÔÀçµÇ¾ú´Ù. (³í¹®¸í: Large Area Fabrication of Periodic Sub-15 nm Width Single Layer Graphene Nanorings)
±×·¡ÇÉÀº ¿©·¯ ¿ì¼öÇÑ ¹°¸®Àû Ư¼ºÀ¸·Î ÀÎÇØ ¿µ±¹ÀÇ °¡ÀÓ ±³¼ö¿Í ³ëº¸¼¿·ÎÇÁ ±³¼ö°¡ 2004³â ¹ß°ßÇÑ ÀÌ·¡, Áö±Ý±îÁö Àü ¼¼°è ¿¬±¸ÀÚµé·ÎºÎÅÍ ÁÖ¸ñ ¹Þ´Â ‘²ÞÀÇ ½Å¼ÒÀç’ÀÌ´Ù.
ź¼Ò¿øÀÚ°¡ À°°¢Çü ¹úÁý¸ð¾çÀ» ÀÌ·ç´Â 2Â÷¿ø Æò¸é¿¡ ÆîÃÄÁø ´ÜÀϸ· ±¸Á¶ÀÎ ±×·¡ÇÉÀº Àüµµ¼º, Åõ°ú¼º ¹× À¯¿¬¼ºÀÌ ¶Ù¾î³ª Â÷¼¼´ë ¿¡³ÊÁöÀΠžçÀüÁö³ª LED(¹ß±¤´ÙÀÌ¿Àµå)ÀÇ Åõ¸íÀü±Ø ¹× ÈÖ¾îÁö´Â µð½ºÇ÷¹ÀÌ Àü±Ø¿¡µµ È°¿ëµÉ ¼ö ÀÖ¾î ÁýÁßÀûÀ¸·Î ¿¬±¸µÇ°í ÀÖ´Ù. ±×·¯³ª ÇÊ¿äÇÒ ¶§ Àü·ù¸¦ ÀÚÀ¯ÀÚÀç·Î Â÷´ÜÇÒ ¼ö ¾ø¾î ÷´Ü ÀüÀÚÁ¦Ç°¿¡ ²À ÇÊ¿äÇÑ ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚ¿¡ Àû¿ëÇϴµ¥ ±Ùº»ÀûÀÎ ÇÑ°è°¡ ÀÖ¾ú´Ù.
´ë´Ù¼ö ¿¬±¸ÀÚµéÀº ±×·¡ÇÉ¿¡ ÀüÀÚ ¹êµå°¸À» ¸¸µé±â À§ÇØ ´Ù°¢ÀûÀ¸·Î Á¢±ÙÇÏ¿´°í ±× Áß Àüµµ¼º °íºÐÀÚ ¹°ÁúÀ̳ª ÀÚ±âÁ¶¸³ ºÐÀÚ¸·À» ±×·¡ÇÉ Ç¥¸é¿¡ ºÎÂøÇÏ´Â ÈÇÐÀû µµÇιýÀ̳ª Ãʹ̼¼ °øÁ¤À¸·Î ³ª³ë ¼öÁØÀÇ ¸Å¿ì ¾ãÀº ±½±â¸¦ °¡Áø 1Â÷¿ø ±×·¡ÇÉ ¼±ÀÎ ‘±×·¡ÇÉ ³ª³ë¸®º»’À» ¸¸µé¾î ¹êµå°¸À» Çü¼ºÇÏ´Â ¿¬±¸°¡ ´ëÇ¥ÀûÀÌ´Ù.
Áö±Ý±îÁöÀÇ ¿¬±¸¿¡ µû¸£¸é ±×·¡ÇÉ ³ª³ë¸®º»Àº ¼±ÀÇ ÆøÀÌ 15³ª³ë¹ÌÅÍ(1³ª³ë=10¾ïºÐÀÇ 1¹ÌÅÍ) ÀÌÇÏÀÏ ¶§, ¾ÈÁ¤ÀûÀÎ ¹êµå°¸ÀÌ ¸¸µé¾îÁö´Â °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ¸Å¿ì ¾ãÀº ±×·¡ÇÉ ³ª³ë¸®º»À» ¸¸µå´Â ÀϹÝÀûÀÎ ¹æ¹ýÀ¸·Î´Â ÀüÀÚºö ¸®¼Ò±×·¡ÇǸ¦ ÀÌ¿ëÇÑ ÆÐÅÍ´×°ú ÃÊÀ½ÆÄ·Î ±×·¡ÇÉÀ» ¹°¸®ÀûÀ¸·Î ÂÉ°³´Â ¹æ¹ý µîÀÌ ½ÃµµµÇ¾úÁö¸¸, °øÁ¤½Ã°£ÀÌ ¸Å¿ì ±æ°í ±×·¡ÇÉ ³ª³ë¸®º»À» ³ÐÀº ¸éÀûÀ¸·Î ¿øÇÏ´Â À§Ä¡¿¡ ¹è¿Çϴµ¥´Â ¾î·Á¿òÀÌ ÀÖ¾ú´Ù.
Á¤°Ç¿µ ±³¼ö ¿¬±¸ÆÀÀº ÇϳªÀÇ ÃþÀ¸·Î µÈ ¾ãÀº ±×·¡ÇÉ À§¿¡ Àú·ÅÇϸ鼵µ ´ë·®À¸·Î Âï¾î³¾ ¼ö ÀÖ´Â ±â¼ú(³ª³ëÀÓÇÁ¸°Æ®)À» Àû¿ëÇÏ¿©, 15³ª³ë¹ÌÅÍ ÀÌÇÏÀÇ ±×·¡ÇÉ ³ª³ë¸®º»À» ¿øÇüÀ¸·Î ¿¬°áÇÑ ‘±×·¡ÇÉ ³ª³ë¸µ’À» Á¦ÀÛÇÏ¸é¼ ³ÐÀº ¸éÀû(´ë¸éÀû)¿¡ ¿øÇÏ´Â À§Ä¡¿¡ ¹è¿Çϴµ¥ ¼º°øÇÏ¿´´Ù.
¿¬±¸ÆÀÀº ¿ì¼± 3°³ÃþÀÇ ¹°ÁúÀ» ±×·¡ÇÉ ±âÆÇ¿¡ ¿Ã·È´Ù. ÀÓÇÁ¸°Æ® °øÁ¤À¸·Î ½ºÅÆÇÁ ÆÐÅÏÀÇ ¿ª»ó(æ½ßÚ)ÀÎ ÁÖ±âÀûÀÎ ³ª³ë±¸¸ÛµéÀÌ ·¹Áö½ºÆ®·Î Àü»çµÇ°Ô ÇÑ ÈÄ, ÇöóÁ¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ ¼¶¼¼ÇÑ ½Ä°¢°øÁ¤(Etching)À¸·Î ·¹Áö½ºÆ®ÀÇ ³ª³ë±¸¸Û ÆÐÅÏÀ» ÇϺÎÀÇ PMMA¿Í PVAÃþÀ¸·Î Àü»ç½ÃÄ×´Ù.±× ÈÄ ¾ãÀº ±Ý¼Ó¸·À» ³ª³ë±¸¸ÛÀÇ ¿Üº®À» µû¶ó ÁõÂø(ñúó·)ÇÏ¿© ±Ý¼Ó ³ª³ëÆ©ºê ¹è¿À» Á¦ÀÛÇÏ¿´´Ù. ¿Üº®¿¡ ÁõÂøµÈ ¼±Æø 20³ª³ë¹ÌÅÍ ÀÌÇÏÀÇ ±Ý¼Ó ³ª³ëÆ©ºê¸¦ ½Ä°¢ ¸¶½ºÅ©·Î »ç¿ë, ÇϺÎÀÇ ±×·¡ÇÉÀ» ½Ä°¢ÇÏ¿© ±×·¡ÇÉ ³ª³ë¸µ ¹è¿À» ³ÐÀº ¸éÀûÀ¸·Î ´Ù¼ö Á¦ÀÛÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú´Ù.
³ª³ëÀÓÇÁ¸°Æ® °øÁ¤Àº ½ºÅÆÇÁ ³ª³ë±¸Á¶¹°ÀÇ ÁÖ±â¿Í Á÷°æ Å©±â¸¦ ¶È°°ÀÌ ±×·¡ÇÉ ±âÆÇ¿¡ Àü»çÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °ÍÀÌ Æ¯Â¡ÀÌ´Ù. µû¶ó¼ ´Ù¾çÇÑ ÇüÅÂÀÇ ³ª³ë±¸Á¶¹°ÀÌ ¼¼¿öÁø ½ºÅÆÇÁ¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¸é ½ºÅÆÇÁ¿Í µ¿ÀÏÇÑ ¸éÀûÀÇ ±âÆÇ À§¿¡ ´Ù¾çÇÑ ±×·¡ÇÉ ³ª³ë±¸Á¶Ã¼ÀÇ ÆÐÅÍ´×ÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù. Áï, ´ë¸éÀûÀÇ ½ºÅÆÇÁ¸¦ ¾´´Ù¸é ´ë¸éÀûÀ¸·Î ±×·¡ÇÉ ³ª³ë±¸Á¶Ã¼¸¦ ¸¸µé ¼ö ÀÖ´Ù.
Á¤°Ç¿µ ±³¼ö´Â “À̹ø ¿¬±¸´Â ³ª³ëÅ©±âÀÇ ¸ð¾ç°ú ¼±ÆøÀÇ ±×·¡ÇÉÀ» ´ë¸éÀûÀ¸·Î ÀÚÀ¯·Ó°Ô ¸¸µé°í Á¦¾îÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °¡´É¼ºÀ» ¿¬ ÀÇ¹Ì ÀÖ´Â ¿¬±¸¼º°ú·Î, ¹Ì·¡ ±×·¡ÇÉ ±â¹Ý ¹ÝµµÃ¼¤ý¼¾¼ ¼ÒÀÚ °³¹ß¿¡ ´ÜÃʸ¦ ¿¾ú´Ù”°í ¿¬±¸ÀÇÀǸ¦ ¹àÇû´Ù.
<±â»çÃâó | ±³À°°úÇбâ¼úºÎ º¸µµÀÚ·á>