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±¹»êÈ 1¼¼´ë ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç ±â¾÷ ¿µÃ¢ÄɹÌÄ®ÀÌ ¹ÝµµÃ¼ Çʼö °øÁ¤¿ë ½Å¼ÒÀç 2Á¾ÀÇ ½ÅÁ¦Ç° ¾ç»êÀ» ½ÃÀÛÇÑ´Ù.
À̹ø¿¡ ¾ç»êµÇ´Â 2Á¾ÀÇ ½Å¼ÒÀç´Â CMP* °øÁ¤¿ë ‘ÅÖ½ºÅÙ ½½·¯¸®(slurry)’¿Í ‘TSV ½½·¯¸®’´Ù. °íÁýÀû ¹ÝµµÃ¼ »ý»êÀ» À§Çؼ´Â ¼ö½Ê ¹øÀÇ CMP °øÁ¤ÀÌ ¹Ýµå½Ã ÇÊ¿äÇѵ¥, µÎ ½½·¯¸®´Â CMP °øÁ¤ÀÇ ÇÙ½É ¼ÒÀç´Ù. * CMP´Â ¿þÀÌÆÛ ¹Ú¸·(film)À» ÈÇÐÀûÀ¸·Î ¿¬¸¶ÇØ ÆòźÈÇÏ´Â °øÁ¤. ¹ÝµµÃ¼ ¼öÀ²¿¡ °áÁ¤Àû ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ¡´Â Çʼö °øÁ¤ÀÌ´Ù.
½ÇÁ¦ ÅÖ½ºÅÙ ½½·¯¸®´Â ±Ý¼Ó°è¿ ½½·¯¸®ÀÇ ÁÖ¿ä ¼ÒÀçÀÎ ±¸¸®(Cu)¿¡ ºñÇØ ¿¬¸¶µµ°¡ ¿ì¼öÇÏ°í Àüµµ¼ºÀÌ ¶Ù¾î³ª Â÷¼¼´ë ´ëüÁ¦·Î ÁÖ¸ñ ¹Þ°í ÀÖ´Ù. ¶Ç TSV ½½·¯¸®´Â ½Ç¸®ÄÜ °üÅëÀü±ØÀ̶ó ºÒ¸®´Â TSV(Through Silicon Via) °øÁ¤¿ë ¿¬¸¶Á¦·Î, TSV °øÁ¤Àº ±âÁ¸ ¿ÍÀÌ¾î º»µùÀ» ´ëüÇÏ´Â ±â¼úÀÌ´Ù.
¿µÃ¢ÄɹÌÄ®Àº ¿ÃÇØ 1ºÐ±âºÎÅÍ µÎ Á¦Ç°±ºÀÌ ¸ÅÃâ¿¡ º»°Ý ¹Ý¿µµÇ¸é¼ ³ôÀº ¿¬¸ÅÃâ ¼ºÀåÀÌ ±â´ëµÈ´Ù°í ¹àÇû´Ù.
ÇÑÆí ¿µÃ¢ÄɹÌÄ®Àº 2021³â ¸ÅÃâ¾× 664¾ï¿ø, ¿µ¾÷ÀÌÀÍ 22¾ï¿øÀ» ±â·ÏÇß´Ù. Áö³ÇØ 3ºÐ±â ´©Àû ±âÁØ ½ÇÀûÀº ¸ÅÃâ¾× 615¾ï¿ø, ¿µ¾÷ÀÌÀÍ 46¾ï¿øÀ¸·Î, ÀÌ¹Ì 3ºÐ±â ¸¸¿¡ Àü³âµµ ¿¬°£ ¸ÅÃâ¾×ÀÇ 93%¸¦ ´Þ¼ºÇÏ°í ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀº 2¹è¸¦ ³Ñ¾î¼¹´Ù. ÀÌ Ãß¼¼¶ó¸é 2022³â ½ÇÀûÀº â»ç ÀÌ·¡ ÃÖ´ëÄ¡¸¦ ´Þ¼ºÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù.
Ãâó : ¿µÃ¢ÄɹÌÄ®
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