¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ ¼³ºñ ÃÊ°í¹Ðµµ Ư¼öÄÚÆà Àü¹®±â¾÷ ±×¸°¸®¼Ò½º(´ëÇ¥ÀÌ»ç ÀÌÁ¾¼ö)°¡ 5ÀÏ ±ÝÀ¶À§¿øȸ¿¡ Áõ±Ç½Å°í¼¸¦ Á¦ÃâÇÏ°í ÄÚ½º´Ú »óÀå °ø¸ð ÀÏÁ¤¿¡ µ¹ÀÔÇß´Ù.
±×¸°¸®¼Ò½ºÀÇ ÃÑ °ø¸ðÁֽļö´Â 164¸¸ÁÖ·Î ½ÅÁÖ 100%·Î ±¸¼ºµÆÀ¸¸ç, ÁÖ´ç °ø¸ð Èñ¸Á°¡ ¹üÀ§´Â 1¸¸1000¿ø~1¸¸4000¿øÀÌ´Ù. °ø¸ð¸¦ ÅëÇØ ÃÖ´ë 230¾ï¿©¿øÀ» Á¶´ÞÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
10¿ù 25ÀϺÎÅÍ 31ÀϱîÁö ±â°üÅõÀÚÀÚ ¼ö¿ä¿¹ÃøÀ» ÁøÇàÇØ °ø¸ð°¡¸¦ È®Á¤ÇÏ°í, 11¿ù 2ÀÏ°ú 3ÀÏ ÀϹÝû¾àÀ» ¹Þ´Â´Ù. 11¿ù »óÀå ¿¹Á¤À̸ç, »óÀåÁÖ°üȸ»ç´Â NHÅõÀÚÁõ±ÇÀÌ´Ù.
2011³â ¼³¸³µÈ ±×¸°¸®¼Ò½º´Â ¹ÝµµÃ¼ ¹× µð½ºÇ÷¹ÀÌ °øÁ¤ ¼³ºñ¿¡ Àû¿ëµÇ´Â ÃÊ°í¹Ðµµ Ư¼öÄÚÆà Àü¹® ±â¾÷ÀÌ´Ù. ȸ»ç´Â ÄÚÆà ¼ÒÀçºÎÅÍ ºÎÇ° ¹× Àåºñ, ÄÚÆà ±â¼ú·Î À̾îÁö´Â ¿ø½ºÅé ¼Ö·ç¼ÇÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î ÃÊ°í¹Ðµµ ÄÚÆà ¼ÒÀç¿Í ÄÚÆà ¼ºñ½º µîÀ» ±Û·Î¹ú ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷ ¹× µð½ºÇ÷¹ÀÌ ±â¾÷ µî¿¡ °ø±ÞÇÏ°í ÀÖ´Ù.
±×¸°¸®¼Ò½º´Â ¼¼°è ÃÖ°í ¼öÁØÀÇ ÃÊ°í¹Ðµµ ÄÚÆà ±â¼úÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î ±Û·Î¹ú ¹ÝµµÃ¼ ¹× µð½ºÇ÷¹ÀÌ ½ÃÀå Á¡À¯À²À» ³ôÀÌ°í ÀÖ´Ù. ÃÊ°í¹Ðµµ ÄÚÆÃÀº ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ Áß ÇÊ¿äÇÑ ºÎºÐ ¿Ü ³ª¸ÓÁö ¹°ÁúÀ» Á¦°ÅÇÏ´Â ½Ä°¢ °øÁ¤¿¡ Àû¿ëµÇ¸ç, 10§¬ ÀÌÇÏ ¹ÝµµÃ¼ ½Ä°¢ °øÁ¤ ¼öÀ²À» ³ôÀ̱â À§ÇØ ÇʼöÀûÀÎ ±â¼úÀÌ´Ù. ³»ÇöóÁ·³»½Ä¼ºÀÇ º¸È£ ÄÚÆÃÀ» Àû¿ëÇÏ¸é ³ôÀº Ãâ·ÂÀÇ ÇöóÁ¿¡ ³ëÃâµÇ´Â ½Ä°¢ üÀÓ¹ö ³» ºÎÇ°À» º¸È£ÇØ ¿À¿°ÀÔÀÚ ¹ß»ýÀ» ÃÖ¼ÒÈÇÒ ¼ö ÀÖ¾î Á¦Ç° »ý»ê¼º Çâ»ó¿¡ ±â¿©ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
±Û·Î¹ú °í°´»çµéÀÌ EUV(±ØÀڿܼ±) °øÁ¤°ú ‘High-K’ °øÁ¤À» ±â¹ÝÀ¸·Î 3§¬ ÀÌÇÏ °øÁ¤À» º»°Ý Àû¿ëÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, ÀÌ¿¡ µû¶ó Ȥµ¶ÇÑ °øÁ¤ ȯ°æÀ» °ßµô ¼ö ÀÖ´Â ÃÊ°í¹Ðµµ ÄÚÆà ¼ö¿ä°¡ Áõ°¡ÇØ ±×¸°¸®¼Ò½ºÀÇ ½ÇÀûµµ ¼ºÀåÇÒ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÇ°í ÀÖ´Ù. ±×¸°¸®¼Ò½ºÀÇ ¿ÃÇØ ÃßÁ¤ ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀº ¾à 46¾ï¿øÀ¸·Î Áö³ÇØ ´ëºñ ¾à 24% ´Ã¾î³¯ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÇ¸ç, ȸ»ç ÃøÀº 2024³â ÇϹݱâ ÀÌÈÄ ¸ÅÃâ ¹× ¿µ¾÷ÀÌÀÍ µî º»°ÝÀûÀÎ ½ÇÀû ÄöÅÒ Á¡ÇÁ¸¦ ±â´ëÇÏ°í ÀÖ´Ù.
ÀÌÁ¾¼ö ±×¸°¸®¼Ò½º ´ëÇ¥ÀÌ»ç´Â “ÄÚ½º´Ú »óÀå ÀÌÈÄ »ý»ê½Ã¼³À» Ãß°¡ È®º¸ÇÏ°í, ¿¬±¸°³¹ß ÅõÀÚ¸¦ ÅëÇØ ±â¼ú °æÀï·ÂÀ» ²ÙÁØÈ÷ °ÈÇسª°¥ °Í”À̶ó¸ç “¹ÝµµÃ¼ ºÐ¾ß ¿Ü¿¡ ÃÊÀüµµ ¼±Àç°¡ È°¿ëµÇ´Â ¿¡³ÊÁö¿Í ¿ìÁÖÇ×°ø µî ´Ù¾çÇÑ »ê¾÷ ºÐ¾ß·Î »ç¾÷ ¿µ¿ªÀ» ³ÐÇô Á¾ÇÕ÷´Ü¼ÒÀç ¼Ö·ç¼Ç ±â¾÷À¸·Î µµ¾àÇÒ °Í”À̶ó°í »óÀå Æ÷ºÎ¸¦ ¹àÇû´Ù.
Ãâó : ±×¸°¸®¼Ò½º